玻尔兹曼分布研究辉光放电等离子体中铁原子谱线的激发机制

张蕾¹，WAGATSUMA Kazuaki²

1. 日本东北大学未来科学技术共同研究中心2. 日本东北大学金属材料研究所

摘 要：采用玻尔兹曼分布法,通过不同的放电参数,例如外加电压、电流和气压等,研究了辉光放电等离子体中激发能量为4.1~7.0eV的铁原子谱线激发机制。低激发能量曲线很好地拟合了正玻尔兹曼分布,然而较高激发能量的原子谱线与线性玻尔兹曼曲线有很大偏差。其结果可能是由于较低等级激发由热碰撞引起,而另一方面,铁原子高位等级的激发则是铁原子和氩或氖亚稳原子间的碰撞引起的。

关键词：辉光放电等离子体;铁原子谱线;氖;氩;玻尔兹曼分布;