p型ZnO薄膜的研究进展
来源期刊：材料导报2015年第23期
论文作者：文俊伟 王小平 王丽军 李剑 刘凌鸿 于颖
文章页码：12 - 17
关键词：ZnO薄膜;制备工艺;掺杂;p型电导;
摘 要：ZnO材料以其优良的光电特性和相对低廉的成本而倍受人们的青睐,但是要获得高质量的p型ZnO薄膜难度极大,这已成为阻碍ZnO基光电器件走向实用化的主要障碍。综述了p型ZnO薄膜掺杂面临的困难、p型ZnO掺杂理论进展及实现p型ZnO薄膜的各种掺杂方法,并对p型ZnO薄膜的各种制备工艺方法进行了概括和比较,最后指出了提高p型ZnO薄膜质量的努力方向。
文俊伟，王小平，王丽军，李剑，刘凌鸿，于颖
上海理工大学理学院
摘 要：ZnO材料以其优良的光电特性和相对低廉的成本而倍受人们的青睐,但是要获得高质量的p型ZnO薄膜难度极大,这已成为阻碍ZnO基光电器件走向实用化的主要障碍。综述了p型ZnO薄膜掺杂面临的困难、p型ZnO掺杂理论进展及实现p型ZnO薄膜的各种掺杂方法,并对p型ZnO薄膜的各种制备工艺方法进行了概括和比较,最后指出了提高p型ZnO薄膜质量的努力方向。
关键词：ZnO薄膜;制备工艺;掺杂;p型电导;
