太阳电池用CuInS2薄膜电沉积工艺的研究进展
来源期刊：功能材料与器件学报2011年第6期
论文作者：卢琳 王艳杰 李晓刚
文章页码：543 - 548
关键词：CuInS2;薄膜;电沉积;太阳电池;
摘 要：介绍了太阳电池用CuInS2薄膜一步共沉积法和分步电沉积法的工艺特点,重点讨论了一步法共沉积CuInS2薄膜的工艺因素,包括电解液的组成（如主盐浓度、络合剂、添加剂和附加盐等）、电沉积工艺规范（如沉积电位、温度、热处理等）等方面。并详细地分析了这些因素对电沉积CuInS2薄膜性能的影响,据此提出了目前实验室研究中存在的问题和今后的研究方向。
卢琳，王艳杰，李晓刚
北京科技大学腐蚀与防护中心
摘 要：介绍了太阳电池用CuInS2薄膜一步共沉积法和分步电沉积法的工艺特点,重点讨论了一步法共沉积CuInS2薄膜的工艺因素,包括电解液的组成（如主盐浓度、络合剂、添加剂和附加盐等）、电沉积工艺规范（如沉积电位、温度、热处理等）等方面。并详细地分析了这些因素对电沉积CuInS2薄膜性能的影响,据此提出了目前实验室研究中存在的问题和今后的研究方向。
关键词：CuInS2;薄膜;电沉积;太阳电池;
