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陶瓷衬底材料对多晶硅薄膜沉积质量的影响

来源期刊：稀有金属材料与工程2005年增刊第2期

论文作者：张立明许颖王文静张厚兴黄勇李海峰万之坚

关键词：陶瓷衬底; 多晶硅薄膜; 太阳能电池;

摘要：通过对不同陶瓷衬底材料上沉积多晶硅薄膜性能的研究,分析了陶瓷材料本身的性质和热力学参数、晶体学参数等性能对多晶硅薄膜沉积质量的影响,在SiC衬底上制备了择优定向生长晶粒直径达190μm的多晶硅薄膜.

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张立明¹，许颖²，王文静²，张厚兴³，黄勇³，李海峰³，万之坚¹

(1.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084;
2.北京市太阳能研究所,北京,100083;
3.清华大学深圳研究生院,深圳,510855)

摘要:通过对不同陶瓷衬底材料上沉积多晶硅薄膜性能的研究,分析了陶瓷材料本身的性质和热力学参数、晶体学参数等性能对多晶硅薄膜沉积质量的影响,在SiC衬底上制备了择优定向生长晶粒直径达190μm的多晶硅薄膜.

关键词:陶瓷衬底; 多晶硅薄膜; 太阳能电池;

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