低毒体系凝胶注模ITO靶材坯体的表面起皮现象与抑制研究
来源期刊：材料开发与应用2020年第5期
论文作者：杨硕 张大帅 薛建强 师琳璞 赵延飞
文章页码：54 - 58
关键词：凝胶注模;ITO靶材坯体;氧阻聚;表面起皮;
摘 要：针对凝胶注模成型ITO靶材坯体时出现的表面氧阻聚问题,研究了水溶性高分子PEG、PVP和PAM对ITO浆料、坯体性能及氧阻聚引起的起皮厚度的影响。结果表明:PEG的加入对ITO坯体起皮厚度基本没有影响,加入PVP和PAM均可在不同程度上改善坯体起皮状况,尤其当PAM加入量超过1.5%时,可完全消除氧阻聚引起的坯体表面起皮。
杨硕，张大帅，薛建强，师琳璞，赵延飞
中国船舶重工集团公司第七二五研究所
摘 要：针对凝胶注模成型ITO靶材坯体时出现的表面氧阻聚问题,研究了水溶性高分子PEG、PVP和PAM对ITO浆料、坯体性能及氧阻聚引起的起皮厚度的影响。结果表明:PEG的加入对ITO坯体起皮厚度基本没有影响,加入PVP和PAM均可在不同程度上改善坯体起皮状况,尤其当PAM加入量超过1.5%时,可完全消除氧阻聚引起的坯体表面起皮。
关键词：凝胶注模;ITO靶材坯体;氧阻聚;表面起皮;
