MgO/Pd底层对CoSiB/Pd多层膜垂直磁各向异性及热稳定性的影响
来源期刊：材料工程2020年第2期
论文作者：赵泽军 卢学鹏 刘帅 息剑峰 李宝河
文章页码：65 - 70
关键词：CoSiB/Pd多层膜;反常霍尔效应;垂直磁各向异性;有效磁各向异性常数;
摘 要：采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备以MgO/Pd为底层的CoSiB/Pd多层膜样品,研究MgO底层厚度t对CoSiB/Pd多层膜垂直磁各向异性（perpendicular magnetic anisotropy, PMA）的影响,分析具有MgO/Pd底层的多层膜的热稳定性。通过对样品的反常霍尔效应的测试分析发现,底层中引入MgO层能够提高其PMA性能,当t为3.5 nm时,样品的矩形度最好。对最佳样品MgO（3.5 nm）/Pd（3 nm）/[CoSiB（0.5 nm）/Pd（0.8 nm）]2/Ta（2 nm）的磁滞回线进行测试,其有效磁各向异性常数Keff达到2.0×105 J/m3。热稳定性分析发现,当退火温度为200℃时,样品的Keff达到最大值2.6×105 J/m3;当退火温度达到400℃时,样品仍能保持良好的PMA性能。
赵泽军，卢学鹏，刘帅，息剑峰，李宝河
北京工商大学理学院
摘 要：采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备以MgO/Pd为底层的CoSiB/Pd多层膜样品,研究MgO底层厚度t对CoSiB/Pd多层膜垂直磁各向异性（perpendicular magnetic anisotropy, PMA）的影响,分析具有MgO/Pd底层的多层膜的热稳定性。通过对样品的反常霍尔效应的测试分析发现,底层中引入MgO层能够提高其PMA性能,当t为3.5 nm时,样品的矩形度最好。对最佳样品MgO（3.5 nm）/Pd（3 nm）/[CoSiB（0.5 nm）/Pd（0.8 nm）]2/Ta（2 nm）的磁滞回线进行测试,其有效磁各向异性常数Keff达到2.0×105 J/m3。热稳定性分析发现,当退火温度为200℃时,样品的Keff达到最大值2.6×105 J/m3;当退火温度达到400℃时,样品仍能保持良好的PMA性能。
关键词：CoSiB/Pd多层膜;反常霍尔效应;垂直磁各向异性;有效磁各向异性常数;
