大面积无衬底自支撑金刚石厚膜沉积

来源期刊：工程科学学报2000年第3期

论文作者：黄天斌 刘敬明 钟国仿 唐伟忠 佟玉梅 吕反修

文章页码：234 - 237

关键词：自支撑金刚石厚膜;大面积;直流电弧等离子体喷射CVD;

摘    要：讨论了在采用直流电弧等离子体喷射CVD工艺沉积大面积无衬底自支撑金刚石厚膜时遇到的若干技术问题．在制备过程中经常出现的膜炸裂现象，主要是由于膜和衬底材料线膨胀系数差异引起的巨大热应力，而衬底表面状态的控制、沉积过程中工艺参数的优化和控制也是一个重要的因素．因此，必须对整个金刚石厚膜沉积过程进行严格而系统的控制，才能有效地保证获得无裂纹大面积金刚石自支撑厚膜．