扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用
来源期刊：材料工程2003年增刊第1期
论文作者：胡会能 胡斌 王全 孙静
关键词：电压衬度像; 充电现象; 开路;
摘 要：阐述了利用扫描电子显微镜获取电压衬度像的机理,并对样品充电现象进行了解释.通过引用两例失效分析案例,描述了利用样品的充电现象确定元器件内部开路位置的方法.
胡会能1，胡斌1，王全1，孙静1
(1.航天材料及工艺研究所,北京,100076)
摘要:阐述了利用扫描电子显微镜获取电压衬度像的机理,并对样品充电现象进行了解释.通过引用两例失效分析案例,描述了利用样品的充电现象确定元器件内部开路位置的方法.
关键词:电压衬度像; 充电现象; 开路;
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