薄膜/涂层材料应力应变关系的压痕法表征与仪器研制
来源期刊：硬质合金2020年第5期
论文作者：王鑫铭 邹伟 陈鑫 马增胜
文章页码：339 - 344
关键词：压痕法;应力应变关系;薄膜/涂层;可靠性;
摘 要：本文通过量纲分析、有限元数值模拟计算以及压痕实验研究,系统研究了薄膜/涂层材料应力应变关系的表征方法,成功获得了模量、硬化指数、屈服强度等参数。同时研制了大行程微米尺度压痕仪,完成了仪器结构设计、整体结构和各部件分析、仪器调试和校验等相关工作,最终基于调试成功的仪器进行了典型材料的压痕试验可靠性研究。
王鑫铭，邹伟，陈鑫，马增胜
湘潭大学材料科学与工程学院特种功能薄膜材料国家地方联合工程实验室
摘 要：本文通过量纲分析、有限元数值模拟计算以及压痕实验研究,系统研究了薄膜/涂层材料应力应变关系的表征方法,成功获得了模量、硬化指数、屈服强度等参数。同时研制了大行程微米尺度压痕仪,完成了仪器结构设计、整体结构和各部件分析、仪器调试和校验等相关工作,最终基于调试成功的仪器进行了典型材料的压痕试验可靠性研究。
关键词：压痕法;应力应变关系;薄膜/涂层;可靠性;
