磁控溅射类金刚石碳膜的显微硬度

来源期刊：工程科学学报1991年第6期

论文作者：吕反修 杨金旗 杨保雄 叶锐曾

文章页码：548 - 553

关键词：显微硬度;薄膜;类金刚石碳膜;真实硬度;压痕尺寸效应;

摘    要：采用显微硬度测试方法,研究在单晶硅衬底上沉积厚度仅为0.09-0.56μm的磁控溅射类金刚石碳膜的力学性能。结果表明,溅射碳膜的硬度随溅射工艺参数呈规律性变化,且可以和碳膜的类金刚石性质以及碳膜结构的SP³和SP²成分的变化相联系。采用Johnson复合硬度模型进行的分析表明,溅射碳膜的真实硬度在HV6000-6600之间,比天然金刚石的硬度略低。溅射类金刚石碳膜具有明显的压痕尺寸效应（ISE）,其指数约为m=1.9。