利用熔盐热析出反应法对AlN陶瓷表面金属化研究
来源期刊：无机材料学报2003年第5期
论文作者：房明浩 潘伟 潘紫霄 李建强 陈健
关键词：陶瓷连接; 金属化; 氮化铝; 润湿性;
摘 要：研究了利用熔盐热析出反应法对AlN陶瓷的表面金属化.Ti金属化涂层呈现TiO/TiO1-x/TiN层状结构,在涂层与AlN陶瓷结合处,存在TiN和AlN的梯度复合结构.研究表明,金属化处理显著改善了AlN陶瓷表面与金属Al的润湿性能,在1000℃下,润湿角从114.4°降至49.7°.
房明浩1，潘伟1，潘紫霄1，李建强1，陈健1
(1.清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084)
摘要:研究了利用熔盐热析出反应法对AlN陶瓷的表面金属化.Ti金属化涂层呈现TiO/TiO1-x/TiN层状结构,在涂层与AlN陶瓷结合处,存在TiN和AlN的梯度复合结构.研究表明,金属化处理显著改善了AlN陶瓷表面与金属Al的润湿性能,在1000℃下,润湿角从114.4°降至49.7°.
关键词:陶瓷连接; 金属化; 氮化铝; 润湿性;
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