微分极化曲线法及对缓蚀剂阳极脱附行为的表征
来源期刊:腐蚀科学与防护技术1999年第1期
论文作者:汪的华 姚禄安 邹津耘 甘复兴 卜宪章
关键词:微分极化曲线; 缓蚀剂; 阳极脱附;
摘 要:提出对半对数极化曲线进行微分的方法,得到的微分极化曲线及其特征参数可以更精细地表征缓蚀剂的阳极脱附行为.
汪的华1,姚禄安1,邹津耘1,甘复兴1,卜宪章1
(1.武汉大学环境科学系,武汉,430072)
摘要:提出对半对数极化曲线进行微分的方法,得到的微分极化曲线及其特征参数可以更精细地表征缓蚀剂的阳极脱附行为.
关键词:微分极化曲线; 缓蚀剂; 阳极脱附;
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