基于聚合物低单光子吸收连续激光直写技术研制亚衍射极限纳米孔阵列（英文）

范连斌^1,2，张琛^1,2，李红福^1,2,3，王凯歌^1,2，冯晓强^1,2，赵伟^1,2，王伟超^1,2，白晋涛^1,2

1. 陕西省光电子技术与功能材料重点实验室陕西省光电子技术重点实验室国家级光电子技术与功能材料及应用国际科技基地2. 西北大学3. 昆明物理研究所

摘 要：基于单光子吸收激光直写技术,成功地制备了大面积阵列分布、一致性可控的纳米孔复合结构。通过一种涡旋相位板的调制,532 nm波段的连续激光在高数值孔径物镜的焦点处形成了一个圆环形光斑,作用于均匀的SU8光刻胶薄膜上,进而制备出形状与大小可控的、具有高深宽比、直径突破阿贝衍射极限的纳米孔结构。通过逐点扫描方法,最终制备出内径仅为入射波长约1/10的纳米孔阵列结构。此外,利用SEM技术研究了曝光光强和曝光时间对纳米孔尺寸和形貌的影响。

关键词：纳米孔;激光直写;超低单光子吸收;环形光束;