STM隔振系统的复模态分析
来源期刊：东北大学学报(自然科学版)1994年第1期
论文作者：胡天苗 杨乃恒 褚星 马自力 庞世瑾
关键词：隔振系统;复模态分析法;扫描隧道显微镜;
摘 要：用复模态分析法求出了针对扫描隧道显微镜（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，简称ＳＴＭ）隔振系统的运动解和振幅传递函数的解析表达式．从该表达式可以看出．隔振系统第一级参数极大地影响着整个系统的隔振性能．然后用由本方法计算得出的三维和二维图象分析ＳＴＭ隔振系统．在悬挂弹簧加磁阻尼系统和金属块中夹橡胶圈系统的比较中，得出了一些有用的结论．
胡天苗，杨乃恒，褚星，马自力，庞世瑾
东北大学中国科学院北京真空物理开放实验室
摘 要：用复模态分析法求出了针对扫描隧道显微镜（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，简称ＳＴＭ）隔振系统的运动解和振幅传递函数的解析表达式．从该表达式可以看出．隔振系统第一级参数极大地影响着整个系统的隔振性能．然后用由本方法计算得出的三维和二维图象分析ＳＴＭ隔振系统．在悬挂弹簧加磁阻尼系统和金属块中夹橡胶圈系统的比较中，得出了一些有用的结论．
关键词：隔振系统;复模态分析法;扫描隧道显微镜;
