MOD法在不同种子层上制备La0.4Sr0.6TiO3缓冲层的研究
来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2011年第5期
论文作者：罗清威 冉阿倩 洪成哲 樊占国
文章页码：712 - 715
关键词：MOD法;种子层;热处理;La0.4Sr0.6TiO3缓冲层;
摘 要：采用金属有机沉积法（MOD）在双轴织构的Ni-5%W基带上制备了La0.4Sr0.6TiO3,LaTiO3和SrTiO3三种种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜.SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致.通过XRD和SEM研究了不同种子层对La0.4Sr0.6TiO3薄膜取向和表面形貌的影响.结果显示,在LaTiO3种子层上Ar-4%H2气氛下950℃制备的薄膜取向良好,表面光滑致密,无裂纹和孔洞出现.
罗清威1，冉阿倩1，洪成哲1,2，樊占国1
1. 东北大学材料与冶金学院2. 金策工业综合大学物理工程研究所
摘 要：采用金属有机沉积法（MOD）在双轴织构的Ni-5%W基带上制备了La0.4Sr0.6TiO3,LaTiO3和SrTiO3三种种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜.SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致.通过XRD和SEM研究了不同种子层对La0.4Sr0.6TiO3薄膜取向和表面形貌的影响.结果显示,在LaTiO3种子层上Ar-4%H2气氛下950℃制备的薄膜取向良好,表面光滑致密,无裂纹和孔洞出现.
关键词：MOD法;种子层;热处理;La0.4Sr0.6TiO3缓冲层;
