液封浮区法生长GaAs晶体中的热应力
来源期刊：材料科学与工程学报2007年第4期
论文作者：李明伟 陈淑仙 刘春梅
关键词：热应力; LEFZ法; GaAs晶体; 微重力; thermal stress; LEFZ method; GaAs crystal; microgravity;
摘 要：用有限元法对微重力环境下液封浮区(LEFZ)法生长的3英寸GaAs单晶中的热应力进行求解.假设晶体处于准定常状态且为轴对称的各向同性线弹性体.分析了液封厚度、晶体和进料棒转速对晶体中热应力分布的影响.
李明伟1，陈淑仙1，刘春梅3
(1.重庆大学,动力工程学院,重庆,400044;
2.重庆大学"985工程"二期建设"生物功能信息分析与仪器研究中心",重庆,400044;
3.河南科技大学车辆与动力学院,河南,洛阳,471003)
摘要:用有限元法对微重力环境下液封浮区(LEFZ)法生长的3英寸GaAs单晶中的热应力进行求解.假设晶体处于准定常状态且为轴对称的各向同性线弹性体.分析了液封厚度、晶体和进料棒转速对晶体中热应力分布的影响.
关键词:热应力; LEFZ法; GaAs晶体; 微重力; thermal stress; LEFZ method; GaAs crystal; microgravity;
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