二极管裂纹失效分析
来源期刊：材料工程2003年增刊第1期
论文作者：高明 王秉利 吴良勤 傅强 刘占东
摘 要： 大功率和短波激光二极管在810nm波长时,其最大输出功率为100mW.它要求在实际工作条件下达到高可靠指标(MTTF应超过5000h).为了保证高可靠性,该二极管内采用了长空腔和金刚石子支架.但是,在试生产期间,经过温度循环之后,一些样品发生了光电失效.失效样品的破坏性物理分析(DPA)显示,二极管芯片上的裂纹把芯片分成两部分.因此,空腔受到芯片裂纹的破坏而导致失效,为了查找二极管芯片产生裂纹的工序和原因,我们重复了激光二极管原来的组装工序,对每个工序中的样品做了检验,并观测到:
高明1，王秉利1，吴良勤1，傅强1，刘占东1
(1.天津军事交通学院汽车工程系,天津,300161)
摘要: 大功率和短波激光二极管在810nm波长时,其最大输出功率为100mW.它要求在实际工作条件下达到高可靠指标(MTTF应超过5000h).为了保证高可靠性,该二极管内采用了长空腔和金刚石子支架.但是,在试生产期间,经过温度循环之后,一些样品发生了光电失效.失效样品的破坏性物理分析(DPA)显示,二极管芯片上的裂纹把芯片分成两部分.因此,空腔受到芯片裂纹的破坏而导致失效,为了查找二极管芯片产生裂纹的工序和原因,我们重复了激光二极管原来的组装工序,对每个工序中的样品做了检验,并观测到:
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