CVD纳米金刚石涂层工具研究进展

刘书军¹，邓福铭¹，赵晓凯¹，陆绍悌¹，卢学军²

1. 中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所2. 北京迪蒙特佳工模具技术有限公司

摘 要：概述了CVD纳米金刚石涂层工具的研究开发现状、存在的主要问题,重点介绍了硬质合金基体表面预处理方法及纳米金刚石生长工艺参数对CVD纳米金刚石涂层工具结构和性能的影响。其中,介绍了硬质合金基体表面预处理方法主要有酸液浸蚀去钴、施加中间过渡层、机械或等离子体处理、负偏压等;纳米金刚石生长工艺参数则主要从碳源浓度、基体温度、反应气压三方面进行了介绍;最后,对CVD纳米金刚石涂层工具发展趋势和应用前景作出了展望。

关键词：化学气相沉积(CVD);纳米金刚石涂层;硬质合金;预处理;