微波等离子体增强法合成氮杂二氧化钒
来源期刊：钢铁钒钛2007年第2期
论文作者：刘羽 陈金民 王升高 黄志良
关键词：微波等离子体增强; 氮杂VO2-xNy; 薄膜; 相变温度;
摘 要：选用V2O5为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,利用高纯氢和高纯氮作为气源,采用微波等离子体增强法,在低温条件下合成了氮杂二氧化钒(VO2-xNy)样品.通过XRD表征了样品的成分,结果表明:合成的样品为氮杂二氧化钒,样品的结晶度较低,颗粒尺寸较小;相变温度测试结果表明:通过氮掺杂可以有效降低二氧化钒薄膜的相变温度,目前最低可以降低至42 ℃.
刘羽1，陈金民1，王升高1，黄志良1
(1.武汉工程大学湖北省等离子体重点实验室,湖北,武汉,430074)
摘要:选用V2O5为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,利用高纯氢和高纯氮作为气源,采用微波等离子体增强法,在低温条件下合成了氮杂二氧化钒(VO2-xNy)样品.通过XRD表征了样品的成分,结果表明:合成的样品为氮杂二氧化钒,样品的结晶度较低,颗粒尺寸较小;相变温度测试结果表明:通过氮掺杂可以有效降低二氧化钒薄膜的相变温度,目前最低可以降低至42 ℃.
关键词:微波等离子体增强; 氮杂VO2-xNy; 薄膜; 相变温度;
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