烧结钕铁硼磁体溅射渗镝工艺与磁性能研究

李家节^1,2，郭诚君¹，周头军¹，饶先发¹，周慧杰³，杨斌^1,2

1. 江西理工大学工程研究院2. 江西理工大学材料科学与工程学院3. 虔东稀土集团股份有限公司

摘 要：采用直流磁控溅射的方法,在烧结Nd-Fe-B磁体表面制备了Dy薄膜,对比研究了N35烧结态与回火态磁体晶界扩散后组织形貌与性能的变化。N35烧结态与回火态磁体经溅射渗Dy处理后,在剩磁仅降低0.009T和0.03T的情况下,矫顽力大幅度提高,分别提高了708.44kA/m和665.46kA/m,渗Dy处理后磁体中的Dy元素平均质量分数增加不超过0.4%。SEM和EDS能谱的分析结果表明,晶界组织形貌的改善和（Nd,Dy）2Fe14B外延层的形成是矫顽力提升的主要原因。EPMA元素面分布结果显示,Dy主要富集在富Nd相处,三叉型富Nd相处Dy含量最高,而Dy没有扩散到主相晶粒内部,不会导致剩磁大幅度降低,从而有效提高了磁体的综合磁性能。

关键词：磁控溅射;晶界扩散;Dy元素;烧结钕铁硼;