热应力对FeCo薄膜磁晶各向异性能的影响
来源期刊：磁性材料及器件2019年第6期
论文作者：何志童 刘曦 曹江伟
文章页码：1 - 67
关键词：FeCo薄膜;磁晶各向异性能;热应力;
摘 要：采用磁控溅射的方法在300℃下,分别在热膨胀系数相差较大的玻璃和NaCl单晶基片上沉积了Cr90Ru10（002）/Rh（002）/Fe40Co60（002）/Rh多层膜,以研究热应力对FeCo薄膜的磁晶各向异性能的影响。对样品进行X射线衍射（XRD）分析,研究了薄膜的外延生长关系。通过计算样品磁滞回线的面积得到了样品的磁晶各向异性能。实验结果表明,沉积在NaCl基片上的FeCo薄膜的厚度在1 nm、2 nm时磁晶各向异性能的值高达1.2×107 erg/cm3,较大热应力的引入对于提高磁晶各向异性能有显著的效果。
何志童1，刘曦1，曹江伟2
1. 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室2. 兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室
摘 要：采用磁控溅射的方法在300℃下,分别在热膨胀系数相差较大的玻璃和NaCl单晶基片上沉积了Cr90Ru10（002）/Rh（002）/Fe40Co60（002）/Rh多层膜,以研究热应力对FeCo薄膜的磁晶各向异性能的影响。对样品进行X射线衍射（XRD）分析,研究了薄膜的外延生长关系。通过计算样品磁滞回线的面积得到了样品的磁晶各向异性能。实验结果表明,沉积在NaCl基片上的FeCo薄膜的厚度在1 nm、2 nm时磁晶各向异性能的值高达1.2×107 erg/cm3,较大热应力的引入对于提高磁晶各向异性能有显著的效果。
关键词：FeCo薄膜;磁晶各向异性能;热应力;
