衬底基片精密加工过程中宏观质量控制

来源期刊：机械设计与制造2010年第9期

论文作者：周海 白立刚 赵梓皓 王黛萍

文章页码：259 - 261

关键词：衬底基片;表面完整性;翘曲度;化学机械抛光;

摘    要：衬底基片的宏观质量包括外形完整性、翘曲度、尺寸精度等。在分析衬底基片精密加工工艺基础上,得出影响宏观质量的因素有:晶片切片方式、粘盘的方法、研磨抛光崩边、表层应力、抛光液的成份。提出采用线切割、真空粘盘,提高坯料的平整度。采用预加工保护倒角、嵌入式行星保持架,防止抛光崩边。根据不同的衬底基片选择合适的抛光垫,配置专用化学机械抛光液,使得衬底基片化学反应速度与机械去除速度协调。从而有效控制衬底基片的宏观质量。实现了衬底基片表面完整、翘曲度小于5微米、厚度误差小于3微米。