p型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的研究进展
来源期刊：材料导报2007年第3期
论文作者：兰伟 李军 张铭 严辉 董国波
关键词：透明导电氧化物(TCO); p型TCO; CuAlO2薄膜;
摘 要：透明导电氧化物(TCO)的出现开拓了光电子器件研究的新领域.但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体(TOS)相关器件的开发与应用.CuAlO2作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点.介绍了p型TCO的研究现状,综述了不同制备方法制备p型CuAlO2薄膜的研究进展,以及在器件方面的应用,并对其前景进行了展望.
兰伟1，李军1，张铭1，严辉1，董国波1
(1.北京工业大学材料学院薄膜实验室,北京,100022)
摘要:透明导电氧化物(TCO)的出现开拓了光电子器件研究的新领域.但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体(TOS)相关器件的开发与应用.CuAlO2作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点.介绍了p型TCO的研究现状,综述了不同制备方法制备p型CuAlO2薄膜的研究进展,以及在器件方面的应用,并对其前景进行了展望.
关键词:透明导电氧化物(TCO); p型TCO; CuAlO2薄膜;
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