太阳电池用绒面结构ZnO-TCO薄膜及光管理研究进展

来源期刊：材料导报2014年第7期

论文作者：陈新亮 田淙升 赵慧旭 杜建 张德坤 魏长春 耿新华 赵颖 张晓丹

文章页码：1 - 6

关键词：太阳电池;绒面结构;ZnO-TCO薄膜;光管理;薄膜技术;

摘    要：主要阐述了近年来薄膜太阳电池用绒面结构氧化锌(ZnO)透明导电氧化物(Transparent conductive oxides,TCO)薄膜以及光管理设计方面的研究进展。主要包括溅射&湿法刻蚀技术、等离子体刻蚀玻璃衬底技术、等离子体处理修饰ZnO薄膜表面技术、修饰层改善ZnO薄膜表面技术、梯度杂质掺杂技术、复合特征尺寸生长设计以及直接生长绒面结构ZnO薄膜技术和宽光谱ZnO薄膜生长设计等。此外,对薄膜太阳电池中的先进光管理(Light management)结构设计及新材料应用进行了探讨和展望。