独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术（下）
来源期刊：稀有金属与硬质合金1995年第1期
论文作者：李汉广
摘 要：独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术（下）李汉广（中南工业大学长沙４１００８３）３掌握了产品沉积结构的变化规律和优化条件难熔金属氟化物氢还原气相沉积时，可能得到五种类型的沉积结构（图８）：ａ．树脂状结构；ｂ．佳状结构；Ｃ．细晶结构：ｄ．层状结构...
李汉广
中南工业大学
摘 要：独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术（下）李汉广（中南工业大学长沙４１００８３）３掌握了产品沉积结构的变化规律和优化条件难熔金属氟化物氢还原气相沉积时，可能得到五种类型的沉积结构（图８）：ａ．树脂状结构；ｂ．佳状结构；Ｃ．细晶结构：ｄ．层状结构...
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