Ti(0001)表面低能沉积Ti原子的分子动力学模拟

黄河¹，张庆瑜²，刘天伟¹，颜超²，赖新春¹

(1.中国工程物理研究院,绵阳,621700;
2.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024)

摘要:采用嵌入原子势,运用分子动力学(MD)研究了Ti(0001)表面低能沉积不同能量Ti原子时表面吸附、溅射和空位的变化.低能Ti原子沉积Ti(0001)表面过程中,存在一个溅射能量阈值,其值大约为40-50 eV.入射原子能量低于溅射阈值时,入射原子可以认为是沉积原子;入射原子能量大于溅射阈值时,溅射产额随入射原子能量的增加而线性增加.表面吸附原子和溅射原子的分布都呈现6次旋转对称,当入射原子能量大于溅射阈值时,表面吸附原子主要是基体表层原子,入射原子直接成为表面吸附原子的概率很小.空位缺陷主要分布在基体的最表层,当入射原子能量大于溅射阈值时,基体次表层产生的空位缺陷随入射原子能量的增加而增多.

关键词:分子动力学(MD); 嵌入原子法(EAM); 溅射; 吸附; 空位;

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