一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真

来源期刊：功能材料与器件学报2014年第5期

论文作者：周雪丽 李世中

文章页码：112 - 116

关键词：光致形变聚合物;MEMS;开关;等效弯曲;微驱动器;ANSYS;

摘    要：介绍了一种基于光致形变聚合物材料的MEMS开关微驱动器。光致形变聚合物材料在光驱动型微执行器上的应用具有体积小、结构简单、易实现遥控等特点。根据MEMS的尺寸及性能要求建立开关及微驱动器模型,并得到所需最大驱动力。通过计算得出具有一定尺寸光致形变薄膜的等效弯曲行为,并将其应用到MEMS开关微驱动器上。运用ANSYS对微驱动器及闭锁机构仿真分析,根据仿真结果对结构进行改进,确定了采用多层薄板结构的方案,以满足最大驱动力要求。