感应等离子工艺参数对制备电容器级钽粉性能的影响
来源期刊：兵器材料科学与工程2010年第3期
论文作者：梁栋 侯击波 殷涛 尚福军 史洪刚 黄伟 史文璐
文章页码：46 - 50
关键词：感应等离子;电容器级;纳米;钽粉;
摘 要：为实现对感应等离子技术制备电容器级钽粉粒度、形貌的控制,进行改变等离子工艺参数的粉体制备工艺试验,研究冷却气体流量、送入粉体的进口位置、等离子气氛对粉体粒度及其形貌的影响。结果表明,感应等离子工艺参数的变化可以显著改变制备粉体的性能。制备的钽粉全部为球形,感应等离子技术可以完成纳米级电容器钽粉的制备。
梁栋1,2，侯击波2，殷涛1，尚福军1，史洪刚1，黄伟1，史文璐1
1. 中国兵器科学研究院宁波分院2. 中北大学材料科学与工程学院
摘 要：为实现对感应等离子技术制备电容器级钽粉粒度、形貌的控制,进行改变等离子工艺参数的粉体制备工艺试验,研究冷却气体流量、送入粉体的进口位置、等离子气氛对粉体粒度及其形貌的影响。结果表明,感应等离子工艺参数的变化可以显著改变制备粉体的性能。制备的钽粉全部为球形,感应等离子技术可以完成纳米级电容器钽粉的制备。
关键词：感应等离子;电容器级;纳米;钽粉;
