BPxN1-x薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响
来源期刊：材料科学与工程学报2003年第3期
论文作者：韩高荣 徐世友 祁英昆 张溪文
关键词：BPxN1-x薄膜; 光学能隙; 磷掺杂; 紫外液晶光阀;
摘 要：本文从应用出发,选择光学石英为衬底,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1-x薄膜,对样品进行了X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见等测试.XRD、SEM结果显示薄膜多晶态,表面形貌随时间变化,最终为胞状;紫外-可见光光谱结果显示BPxN1-x薄膜的紫外吸收边随沉积时间的加长、PH3流量的增加而向长波长方向移动.因此,该材料的光学能隙可以通过生长工艺适当调整.另外,BPxN1-x薄膜与液晶层能较好匹配等特性更使其适用于紫外空间光调制器.
韩高荣1，徐世友1，祁英昆1，张溪文1
(1.硅材料国家重点实验室,浙江大学材料系,浙江,杭州,310027)
摘要:本文从应用出发,选择光学石英为衬底,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1-x薄膜,对样品进行了X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见等测试.XRD、SEM结果显示薄膜多晶态,表面形貌随时间变化,最终为胞状;紫外-可见光光谱结果显示BPxN1-x薄膜的紫外吸收边随沉积时间的加长、PH3流量的增加而向长波长方向移动.因此,该材料的光学能隙可以通过生长工艺适当调整.另外,BPxN1-x薄膜与液晶层能较好匹配等特性更使其适用于紫外空间光调制器.
关键词:BPxN1-x薄膜; 光学能隙; 磷掺杂; 紫外液晶光阀;
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