基于纳米试验技术的薄膜/基体体系显微力学性能表征
来源期刊：材料导报2007年增刊第2期
论文作者：王振林
关键词：薄膜/基体; 显微力学性能; 纳米压痕; 纳米划痕; 纳米冲击;
摘 要：采用纳米压痕能够获得薄膜硬度、模量、膜层状态、粘接性能、断裂韧性等力学性能.纳米划痕可以表征薄膜/基体的表面状况、结合力、耐磨损等性能.纳米冲击可以研究薄膜/基体的脆韧性、失效机理等力学行为.综述了纳米压痕、纳米划痕及纳米冲击在薄膜/基体体系力学性能表征中的应用原理.
王振林1
(1.重庆工学院材料科学与工程学院,重庆,400050)
摘要:采用纳米压痕能够获得薄膜硬度、模量、膜层状态、粘接性能、断裂韧性等力学性能.纳米划痕可以表征薄膜/基体的表面状况、结合力、耐磨损等性能.纳米冲击可以研究薄膜/基体的脆韧性、失效机理等力学行为.综述了纳米压痕、纳米划痕及纳米冲击在薄膜/基体体系力学性能表征中的应用原理.
关键词:薄膜/基体; 显微力学性能; 纳米压痕; 纳米划痕; 纳米冲击;
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