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SiGe/Si异质结光电器件

来源期刊：材料导报2006年第1期

论文作者：孙伟峰赵星刘国军吴贵斌赵炳辉叶志镇

关键词：SiGe/Si异质结; 光电器件; 光电集成;

摘要：SiGe/Si异质结光电器件及其光电集成(OEIC)是硅基光电研究的一个非常引人注目的领域.综述了SiGe/Si异质结材料的基本性质,SiGe/Si异质结光电器件的结构、性能、应用及其光电集成.重点介绍了SiGe/Si光电探测器及其与其他相关器件的集成.

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孙伟峰¹，赵星¹，刘国军¹，吴贵斌¹，赵炳辉¹，叶志镇¹

(1.浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027)

摘要:SiGe/Si异质结光电器件及其光电集成(OEIC)是硅基光电研究的一个非常引人注目的领域.综述了SiGe/Si异质结材料的基本性质,SiGe/Si异质结光电器件的结构、性能、应用及其光电集成.重点介绍了SiGe/Si光电探测器及其与其他相关器件的集成.

关键词:SiGe/Si异质结; 光电器件; 光电集成;

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