气体总流量对多弧离子镀TiN涂层表面形貌和力学性能的影响

来源期刊：稀有金属与硬质合金2016年第4期

论文作者：陈昌浩 金永中 刘东亮 蔡瑜

文章页码：43 - 47

关键词：TiN涂层;多弧离子镀;气体总流量;表面形貌;力学性能;

摘    要：采用多弧离子镀膜技术在硬质合金基体表面沉积TiN涂层,研究了气体总流量对TiN涂层表面形貌和力学性能的影响。通过SEM观察涂层表面形貌,利用ImageJ图像处理软件对涂层的像素分布进行统计和分析,并通过自动划痕仪和纳米压痕仪对涂层的力学性能进行表征。结果表明,随着气体总流量的增加,涂层表面大颗粒的数量和尺寸均在增加,涂层附着力先增大后减小,而显微硬度先减小后增大;当气体总流量为300mL/min时,涂层气坑数量最多,附着力最大,为106.4N;当气体总流量为100mL/min时,涂层显微硬度最大,为HV3 021。