氯化物前驱体提拉制备ITO薄膜
来源期刊：有色金属2009年第4期
论文作者：郝雷 张金伟 张鲁玉 刁训刚 马荣
关键词：关键词; 无机非金属材料; ITO膜; 溶胶凝胶; 提拉法; 透明; 导电;
摘 要：以InCl3·4H2O和SnCl4·5H2O为原料制备溶胶前驱体,采用浸渍提拉法在SiO2玻璃表面制备透明带电的ITO薄膜.采用方块电阻测量仪、紫外/可见光分光光度计、扫描电子显微镜、X射线衍射仪等分析薄膜的物相结构、微观组织、导电性能及光谱特性.结果表明,薄膜的方块电阻与Sn掺杂量、提拉次数及热处理温度均有关.得到的最佳参数为Sn掺杂量10%(摩尔比)、5次提拉并干燥、500℃热处理1 h(炉外空冷).制得的最佳ITO薄膜方阻为240Ω/□,可见光平均透过率大于90%.
郝雷1，张金伟1，张鲁玉1，刁训刚1，马荣1
(1.北京航空航天大学,材料物理与化学研究中心,北京,100083)
摘要:以InCl3·4H2O和SnCl4·5H2O为原料制备溶胶前驱体,采用浸渍提拉法在SiO2玻璃表面制备透明带电的ITO薄膜.采用方块电阻测量仪、紫外/可见光分光光度计、扫描电子显微镜、X射线衍射仪等分析薄膜的物相结构、微观组织、导电性能及光谱特性.结果表明,薄膜的方块电阻与Sn掺杂量、提拉次数及热处理温度均有关.得到的最佳参数为Sn掺杂量10%(摩尔比)、5次提拉并干燥、500℃热处理1 h(炉外空冷).制得的最佳ITO薄膜方阻为240Ω/□,可见光平均透过率大于90%.
关键词:关键词; 无机非金属材料; ITO膜; 溶胶凝胶; 提拉法; 透明; 导电;
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