AFM针尖耦合激光加工PMMA薄膜的加工重复性

来源期刊：材料科学与工程学报2010年第6期

论文作者：周明 范晓萌 言峰 李健 王静静 蔡兰

文章页码：848 - 1784

关键词：飞秒激光;AFM;纳米加工;PMMA;

摘    要：利用飞秒激光与原子力显微镜的针尖部分耦合进行加工,是有望突破衍射极限,实现多隧道结加工的技术。本文在室温大气环境下,利用微焦级别脉宽为130fs、波长800nm的飞秒激光照射镀有金薄膜的原子力显微镜的探针针尖,使其耦合产生局域场加强效应在PMMA薄膜表面加工出光栅状纳米图形。通过最大残差法计算了条纹高度和宽度的重复性百分比,计算得到高度和宽度的最大残差值分别为6.3%和2.9%。结果表明在文中所提供的加工条件下,原子力显微镜针尖耦合激光是一种有潜力的激光加工方法。