TiO_2-xN_x薄膜托槽的摩擦性能研究

来源期刊：功能材料2015年第14期

论文作者：岳子琪 王宇 王晔 肖文君 李淼 曹宝成

文章页码：14048 - 28107

关键词：射频磁控溅射法;TiO2-xNx薄膜;不锈钢托槽;摩擦系数;不同介质;

摘    要：通过射频磁控溅射法,在不锈钢金属托槽表面制备了不同厚度的TiO2-xNx薄膜。薄膜的晶体结构,表面形貌和表面粗糙度分别通过X射线衍射、扫描电子显微镜和2206型表面粗糙度测量仪分析。通过14FW往复摩擦磨损测试仪考察薄膜托槽体外摩擦性能。结果显示,所制备的纳米TiO2-xNx薄膜为锐钛矿型,结构均匀致密。不同厚度的TiO2-xNx薄膜托槽的动、静摩擦系数不论干燥或湿润条件下均小于对照组。在同一湿性环境下,随薄膜厚度增加TiO2-x Nx薄膜托槽摩擦系数呈递减趋势。TiO2-xNx薄膜托槽表现出了良好的低摩擦性能。