四氯化硅流化床冷氢化工艺的研究
来源期刊：世界有色金属2015年第8期
论文作者：刘挥彬 张升学 杨永亮 严大洲
文章页码：17 - 20
关键词：多晶硅;四氯化硅;流化床;冷氢化;
摘 要：本文通过实验研究了SiCl4流化床加氢工艺,对温度、压力、料位压差及进料配比等因素对SiCl4转化率的影响进行了考察。结果表明,现有冷氢化流化床系统,四氯化硅转化率随温度、压力、反应料位压差、氢气与四氯化硅摩尔进料配比的增大而增大。
刘挥彬，张升学，杨永亮，严大洲
中国恩菲工程技术有限公司
摘 要：本文通过实验研究了SiCl4流化床加氢工艺,对温度、压力、料位压差及进料配比等因素对SiCl4转化率的影响进行了考察。结果表明,现有冷氢化流化床系统,四氯化硅转化率随温度、压力、反应料位压差、氢气与四氯化硅摩尔进料配比的增大而增大。
关键词：多晶硅;四氯化硅;流化床;冷氢化;
