氧化钒薄膜的微观结构研究
来源期刊：材料导报2009年第20期
论文作者：蒋亚东 田忠 吴志明 魏雄邦 贾宇明 廖家轩
关键词：氧化钒薄膜; 衬底; 膜厚; 微观结构; vanadium oxide thin film; substrate; film thickness; microstructure;
摘 要：采用直流反应磁控溅射法在不同基片上制备了80nm和1000nm厚的氧化钒薄膜.采用X射线衍射仪、原子力显微镜及扫描电镜进行了薄膜微观结构分析.结果表明,薄膜的晶化受衬底影响较大,晶化随膜厚的增加而增强.不同衬底上生长的薄膜晶粒尺寸存在较大差异,Si_3N_4/Si衬底上生长的薄膜晶粒细小,薄膜较为平坦;玻璃衬底、Si衬底和α-Al_2O_3陶瓷衬底上生长的薄膜晶粒较为粗大.随着膜厚的增加,薄膜的晶粒尺寸明显增大,不同衬底上生长的二氧化钒薄膜晶粒都具有一种独特的"纺锤"形或"棒"形.
蒋亚东1，田忠2，吴志明1，魏雄邦2，贾宇明2，廖家轩2
(1.电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;
2.电子科技大学电子科学技术研究院,成都,610054)
摘要:采用直流反应磁控溅射法在不同基片上制备了80nm和1000nm厚的氧化钒薄膜.采用X射线衍射仪、原子力显微镜及扫描电镜进行了薄膜微观结构分析.结果表明,薄膜的晶化受衬底影响较大,晶化随膜厚的增加而增强.不同衬底上生长的薄膜晶粒尺寸存在较大差异,Si_3N_4/Si衬底上生长的薄膜晶粒细小,薄膜较为平坦;玻璃衬底、Si衬底和α-Al_2O_3陶瓷衬底上生长的薄膜晶粒较为粗大.随着膜厚的增加,薄膜的晶粒尺寸明显增大,不同衬底上生长的二氧化钒薄膜晶粒都具有一种独特的"纺锤"形或"棒"形.
关键词:氧化钒薄膜; 衬底; 膜厚; 微观结构; vanadium oxide thin film; substrate; film thickness; microstructure;
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