CVD合成钻石工艺中种晶预处理及其后期处理研究进展

来源期刊：超硬材料工程2018年第6期

论文作者：刘欣蔚 陈美华

文章页码：59 - 66

关键词：CVD合成钻石;综述;种晶预处理;辐照改色处理;HPHT处理;LPHT处理;

摘    要：由于钻石产量无法满足各领域对其的需求,主流的人工合成钻石方法之一——CVD合成钻石法开始出现并不断发展,其工艺是研究重点之一。CVD合成钻石中生长前处理以及生长完成后的改色处理是CVD合成钻石处理中很重要的两个方面。生长之前的种晶预处理对种晶来说是直接影响钻石成长质量的重要因素,预处理主要使用强酸煮种晶除杂、丙酮清洗除杂、酒精及去离子水除杂等工艺。生长后样品的处理是目前提高CVD钻石宝石价值的必要步骤。生长后使用等离子体刻蚀除去晶质较差以及非钻石相十分有效。在CVD钻石改色方面,目前出现的主流方法有辐照改色处理,HPHT处理和LPHT处理。