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纳米热电材料及其ECALE制备方法进展

来源期刊：功能材料2005年第10期

论文作者：朱文杨君友侯杰郜鲜辉

关键词：纳米热电材料; 电化学原子层外延; 欠电位沉积;

摘要：论述了纳米热电材料的发展现状及其提高热电优值(ZT)的机理,介绍了一种制备纳米热电薄膜的新方法--电化学原子层外延(ECALE),它采用欠电位沉积实现二维层状生长.文中还总结了该方法制备纳米薄膜过程中的几个重要影响因素,并预测了纳米热电材料和器件今后的研究方向.

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朱文¹，杨君友¹，侯杰¹，郜鲜辉¹

(1.华中科技大学,模具技术国家重点实验室,湖北,武汉,430074)

摘要:论述了纳米热电材料的发展现状及其提高热电优值(ZT)的机理,介绍了一种制备纳米热电薄膜的新方法--电化学原子层外延(ECALE),它采用欠电位沉积实现二维层状生长.文中还总结了该方法制备纳米薄膜过程中的几个重要影响因素,并预测了纳米热电材料和器件今后的研究方向.

关键词:纳米热电材料; 电化学原子层外延; 欠电位沉积;

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