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微等离子体氧化法制备钛酸钡陶瓷膜

来源期刊：材料工程2002年第2期

论文作者：姜兆华李益民李文旭闫久春

关键词：微等离子体氧化; 相组成; 元素分布; 成膜过程;

摘要：用微等离子体氧化法制备出纯相的BaTiO3陶瓷膜,对所得的陶瓷膜进行XRD和EPMA分析.结果表明,膜层中钡钛两种元素分布均匀,无浓度梯度变化.结合实验现象和测试结果,探讨了浓度和电流密度对陶瓷膜的影响,并提出了BaTiO3陶瓷膜成膜过程中的可能反应机制过程.

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姜兆华¹，李益民¹，李文旭¹，闫久春¹

(1.哈尔滨工业大学应用化学系,哈尔滨,150001)

摘要:用微等离子体氧化法制备出纯相的BaTiO3陶瓷膜,对所得的陶瓷膜进行XRD和EPMA分析.结果表明,膜层中钡钛两种元素分布均匀,无浓度梯度变化.结合实验现象和测试结果,探讨了浓度和电流密度对陶瓷膜的影响,并提出了BaTiO3陶瓷膜成膜过程中的可能反应机制过程.

关键词:微等离子体氧化; 相组成; 元素分布; 成膜过程;

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