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钼粉粒径对钼钛薄膜性能的影响

来源期刊：中国钼业2019年第6期

论文作者：席莎安耿李晶韩强刘仁智赵虎

文章页码：50 - 53

关键词：钼粉;钼钛靶材;磁控溅射;微观组织;

摘要：将钼钛合金靶材在同一溅射设备、同一溅射工艺下进行磁控溅射实验,研究不同粒径钼粉原料对靶材溅射薄膜性能的影响。通过XRD、SEM和直流四探针法分析结果表明,颗粒大小均匀、无团聚的大粒径钼粉制备出的靶材,其溅射薄膜性能更优异。

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席莎，安耿，李晶，韩强，刘仁智，赵虎

金堆城钼业股份有限公司技术中心

关键词：钼粉;钼钛靶材;磁控溅射;微观组织;