钼粉粒径对钼钛薄膜性能的影响
来源期刊：中国钼业2019年第6期
论文作者：席莎 安耿 李晶 韩强 刘仁智 赵虎
文章页码：50 - 53
关键词：钼粉;钼钛靶材;磁控溅射;微观组织;
摘 要：将钼钛合金靶材在同一溅射设备、同一溅射工艺下进行磁控溅射实验,研究不同粒径钼粉原料对靶材溅射薄膜性能的影响。通过XRD、SEM和直流四探针法分析结果表明,颗粒大小均匀、无团聚的大粒径钼粉制备出的靶材,其溅射薄膜性能更优异。
席莎，安耿，李晶，韩强，刘仁智，赵虎
金堆城钼业股份有限公司技术中心
摘 要：将钼钛合金靶材在同一溅射设备、同一溅射工艺下进行磁控溅射实验,研究不同粒径钼粉原料对靶材溅射薄膜性能的影响。通过XRD、SEM和直流四探针法分析结果表明,颗粒大小均匀、无团聚的大粒径钼粉制备出的靶材,其溅射薄膜性能更优异。
关键词：钼粉;钼钛靶材;磁控溅射;微观组织;
