超薄类金刚石膜纳米摩擦性能研究
来源期刊：机械工程材料2004年第2期
论文作者：陈曦 刘东平 朱守星 杨继昌 范真 丁建宁 李长生 邓新绿
关键词：类金刚石膜; 原子力显微镜; 摩擦性能;
摘 要：使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究.结果表明:氢化非晶碳膜(a-C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm以下薄膜的微观承载性能和膜厚存在明显的正比例关系.通过分析磨损深度和循环次数之间的关系以及对磨损区域的导电性研究,表明a-C∶H膜表层的微观承载性能较其内层相差很大,表面存在着一层软膜.
陈曦1，刘东平2，朱守星1，杨继昌1，范真1，丁建宁1，李长生1，邓新绿3
(1.江苏大学微米纳米科学技术研究中心,江苏镇江,212013;
2.代根多夫应用科技大学机械电子工程系,德国代根多夫,94469;
3.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,辽宁大连,116024)
摘要:使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究.结果表明:氢化非晶碳膜(a-C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm以下薄膜的微观承载性能和膜厚存在明显的正比例关系.通过分析磨损深度和循环次数之间的关系以及对磨损区域的导电性研究,表明a-C∶H膜表层的微观承载性能较其内层相差很大,表面存在着一层软膜.
关键词:类金刚石膜; 原子力显微镜; 摩擦性能;
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