利用高分辨辉光放电质谱技术对难熔金属材料进行痕量元素定量和深度剖面分析

BOYEA Nick¹，MICHELLON Cyril²，CUQ Nicole²，PUTYERA Karol¹

(1.埃文斯分析小组-纽约Shiva技术公司,6707 Brooklawn Parkway,Syracuse,纽约13211,美国;
2.欧洲Shiva技术公司,94,chemin de la Peyrette,Tournefeuille 31170,法国)

摘要:直接采样的高分辨辉光放电质谱(GDMS)是当今高纯固体常规分析中可用的高灵敏度分析方法之一.这种多元素分析技术通常用于主量化学成分的定量分析、监测元素质量分数随微米级深度(深度分布)的变化,或用于对多种固体和镀层上肉眼可见体积的高灵敏度的分布研究,包括纯金属、高温合金、陶瓷或其中陶瓷金属.由于GDMS的检测几乎涵盖了所有方法,因此在监测痕量级的多元素含量方面是最具成本优势的.另外,它使对在包含绝缘层和(或)镀层及两者化合物的平面上的高灵敏度的含量深度分布分析成为可能.本文着重介绍直流辉光质谱技术用于监测痕量至超含量元素分析技术目前的进展以及直接采样分析实践中应当采用的策略.

关键词:高温材料; 难熔金属; 痕量杂质; 元素浓度分布; 辉光放电质谱法; high temperature material; refractory metal; trace impurities; element concentration distribution; glow-discharge mass spectrometry;

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