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超精密机床自平衡充气式隔振技术

来源期刊：机械设计与制造1999年第5期

论文作者：张明亮朱建忠王贵林李圣怡

文章页码：61 - 63

关键词：超精密机床;振动;主动隔振,被动隔振;

摘要：外界振动是影响超精密加工精度的主要因素，进行机床有效的隔振是解决问题的关键。这里对超精密加工中的隔振技术进行了研究，提出了一种有效的隔振方法：自平衡充气式隔振技术。阐述了其结构和隔振原理，并对该系统的隔振性能进行了实验验证

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张明亮，朱建忠，王贵林，李圣怡

关键词：超精密机床;振动;主动隔振,被动隔振;