半导体材料分析
来源期刊：分析试验室1994年第4期
论文作者：徐立强
关键词：半导体材料分析;
摘 要：本文是《分析试验室》１９８８年定期评述“半导体材料分析”一文的延续。它评述了１９８８年７月至１９９３年１２月国内关于各种半导体材料及涉及半导体工艺中材料的痕量元素分析的进展。内容包括痕量元素分析技术、国家标准及专业标准方法、原子发射光谱法、原子吸收光谱法、电化学分析法、分光光度法、质谱法、气体分析等。共引用文献８５篇。
徐立强
中国科学院上海冶金研究所
摘 要：本文是《分析试验室》１９８８年定期评述“半导体材料分析”一文的延续。它评述了１９８８年７月至１９９３年１２月国内关于各种半导体材料及涉及半导体工艺中材料的痕量元素分析的进展。内容包括痕量元素分析技术、国家标准及专业标准方法、原子发射光谱法、原子吸收光谱法、电化学分析法、分光光度法、质谱法、气体分析等。共引用文献８５篇。
关键词：半导体材料分析;
