亚稳态硫化锰薄膜的制备及特性综述
来源期刊：中国锰业2016年第3期
论文作者：卢伟胜
文章页码：99 - 104
关键词：硫化锰;亚稳态;薄膜;制备工艺;材料特性;
摘 要：亚稳态硫化锰薄膜在短波长光电子器件中有着潜在的应用价值。由于高质量的亚稳态Mn S薄膜难以制备,所以对其制备工艺进行相当多的研究。为了全面了解亚稳态Mn S薄膜材料,对其的制备工艺及材料特性进行综述。
卢伟胜
中信大锰矿业有限责任公司
摘 要：亚稳态硫化锰薄膜在短波长光电子器件中有着潜在的应用价值。由于高质量的亚稳态Mn S薄膜难以制备,所以对其制备工艺进行相当多的研究。为了全面了解亚稳态Mn S薄膜材料,对其的制备工艺及材料特性进行综述。
关键词：硫化锰;亚稳态;薄膜;制备工艺;材料特性;
