热处理在金刚石表面热蒸镀覆SiO₂/SiC晶体复合涂层

来源期刊：材料热处理学报2016年第7期

论文作者：梁宝岩 张旺玺 王艳芝 徐世帅 闫帅帅 王俊和 穆云超

文章页码：180 - 184

关键词：热镀覆处理;金刚石;二氧化硅/碳化硅复合涂层晶体;铝;

摘    要：采用高温热蒸镀方法处理在金刚石表面镀覆上了SiO₂/SiC晶粒复合涂层,同时研究了热处理温度和Al助剂对金刚石表面形成SiO₂/SiC晶粒复合涂层的影响。研究结果表明,在较低温度（1400℃）,金刚石表面形成许多SiC和SiO₂和SiC颗粒。当温度升高到1450℃时,金刚石表面镀覆了良好的SiO₂/SiC复合涂层,形成了许多SiO₂和SiC颗粒、微米棒与晶须。Si粉中添加适量的Al（5 mass%）就会促进Si的蒸发,在1400℃时金刚石表面就会形成大量的SiO₂和SiC颗粒、微米棒与晶须。