直拉硅中氮与氧的相互作用-有色金属在线

简介概要

直拉硅中氮与氧的相互作用

来源期刊：中国有色金属学报1995年第2期

论文作者：刘培东李立本阙端麟佘思明

文章页码：112 - 115

关键词：CZ硅氮氧复合物氧沉淀

摘要：应用红外光谱技术研究了CZ硅中氮与氧的相互作用，实验发现硅中氮的行为不仅与热处理温度有关，而且与热处理时间、样品的热历史等因素有关，由此得出，硅中氮与氧的相互作用实际上分为三个阶段：(1)氮氧复合物的形成，(2)氮氧复合物的脱溶，(3)以氮为中心的氧沉淀的长大。