射频磁控溅射法制备氮化硼薄膜
来源期刊：机械工程材料2006年第11期
论文作者：邵红红 李宁
关键词：射频磁控溅射; 氮化硼薄膜; 摩擦因数; 结合力;
摘 要：采用射频磁控溅射方法在T10钢表面获得了氮化硼薄膜.借助光学显微镜、摩擦磨损试验仪和划痕试验仪等研究了溅射时间、溅射功率以及中间层对薄膜性能的影响.结果表明:氮化硼薄膜的摩擦因数约为钢基材料的一半,中间层镍磷合金的加入使薄膜结合力显著提高.
邵红红1，李宁1
(1.江苏大学材料科学与工程学院,江苏,镇江,212013)
摘要:采用射频磁控溅射方法在T10钢表面获得了氮化硼薄膜.借助光学显微镜、摩擦磨损试验仪和划痕试验仪等研究了溅射时间、溅射功率以及中间层对薄膜性能的影响.结果表明:氮化硼薄膜的摩擦因数约为钢基材料的一半,中间层镍磷合金的加入使薄膜结合力显著提高.
关键词:射频磁控溅射; 氮化硼薄膜; 摩擦因数; 结合力;
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