柔性衬底铝掺杂氧化锌透明导电膜的特性研究
来源期刊：功能材料与器件学报2002年第1期
论文作者：王卿璞 郝晓涛 叶丽娜 马瑾 马洪磊 陈峰 田茂华
关键词：透明导电膜; AZO薄膜; 柔性衬底;
摘 要：室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜-聚丙烯己二酯(polypropyleneadipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜.其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚度不同的薄膜,并对不同厚度AZO薄膜的结构特性、光学特性和电学特性进行了研究.
王卿璞1，郝晓涛2，叶丽娜2，马瑾2，马洪磊2，陈峰1，田茂华2
(1.山东大学物理系,济南 250100;
2.山东大学光电材料与器件研究所,济南 250100)
摘要:室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜-聚丙烯己二酯(polypropyleneadipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜.其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚度不同的薄膜,并对不同厚度AZO薄膜的结构特性、光学特性和电学特性进行了研究.
关键词:透明导电膜; AZO薄膜; 柔性衬底;
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